Chlor pentafluoride là một hợp chất halogen vô cơ với công thức hóa học là ClF5. Khí không màu này là một chất oxy hóa mạnh, từng là chất oxy hóa được thử nghiệm trên tên lửa. Phân tử có cấu trúc hình chóp vuông với đối xứng C4v, được xác nhận bởi phổ NMR 19F có độ phân giải cao của nó. Nó được tổng hợp lần đầu tiên vào năm 1963.