Bơm khuếch tán là gì?

Bơm khuếch tán là thiết bị dùng để tạo chân không cao ở mức độ trung bình tới cận siêu cao (từ 10−3 - 10−8 Torr) hoạt động dựa trên nguyên lý khuếch tán các phân tử khí nhờ sự hấp phụ của các phân tử dầu bị bay hơi. Bơm khuếch tán Wolfgang Gaede được phát minh năm 1915 và đặt tên như vậy vì thiết kế dựa trên phát hiện rằng khí không thể khuếch tán ngược lại luồng hơi nhưng sẽ được mang theo đến ống xả.